泵用于300mm LPCVD氮化工艺
21.08.2003
iH1800HTX滴泵首次由BOC Edwards在SEMICON®West 2003上展出，进一步增强了这家领先的半导体材料、设备和服务公司目前提供的300毫米工艺泵系列。
iH1800HTX泵是专门为高通量LPCVD氮化物和其他苛刻的300毫米和平板显示工艺而设计的。减少了泵内冷凝过程副产物的形成，提供更长的使用寿命，并为晶圆加工提供更大的工具可用性。iH1800HTX基于经过验证的iH系列滴泵，可提供1800立方米/小时的性能，并在高温下运行，以最大限度地减少副产物积聚。
这是通过优化泵的工作温度，提供增加稀释能力，并集成一个扩大和加热泵排气管道来实现的。iH1800HTX被许多工艺工具制造商推荐用于300mm LPCVD氮化物平台。BOC Edwards iH1800系列泵在其他300mm环境中具有出色的性能记录，如剥离/灰化，扩散和其他CVD工艺。
来源:爱德华兹真空
