全氟弹性体提高了亚fab应用的生产效率

Chemraz SFX是一种定制工程FFKM，是密封系统升级的理想选择，因为它的设计可以承受在fab环境中遇到的恶劣化学品和高温。全氟弹性体具有广泛的耐化学腐蚀性，可抵抗典型的亚fab废水和优化的物理性能，在静态真空配件中使用寿命长。工作温度范围可达300°C/572°F，可作为标准o形环和定制密封设计，并极大地提高了高温下的密封性能。

Greene Tweed设计了一种定制的密封组件，专门用于sub - fab环境，包括泵，减排系统和排气管道。定制设计与Chemraz SFX相结合，克服了KF接头可能导致密封材料应力升高和过早失效的局限性。使用带有新型全氟弹性体的定制组件，用户还可以升级使用传统密封材料(例如氟弹性体)的系统，这些材料不再能够处理当今芯片应用中的温度和/或化学暴露。

Chemraz SFX将密封性能与应用相匹配，从而通过减少故障和维护需求来提高生产率。应用包括泵、法兰、阀门和消减系统。作为高性能的全氟弹性体，Chemraz SFX采用耐高温材料和专利高温ISO接头设计，以较低的拥有成本提供更高的性能。