BOC Edwards在德国英飞凌安装监控系统

31.08.2004

1500-Pump监控系统是BOC Edwards全球最大的联网设备。在停机时间可能上升的制造环境中管理超过1500个真空泵的整个系统以及多个排气管理系统…

...每小时超过数万美元是BOC Edwards的监测和报告专家成功应对的挑战。

BOC Edwards是一家为微电子制造商提供材料、设备和服务的全球供应商,最近在德国德累斯顿新建的300毫米英飞凌芯片制造工厂完成了FabWorks32的安装,FabWorks32是一种全厂真空和排气管理监控系统。FabWorks 16一直在监测英飞凌200毫米晶圆厂超过6年,密切关注近1000个真空泵。设备参数状态、警报和其他关键信息可以通过个人计算机进行监控,无需服务工程师亲自检查地面上的每台泵。

当英飞凌建造新的300mm工厂时,安装了BOC Edwards的FabWorks 32系统。可以通过英飞凌局域网查看网络,允许局域网用户通过PC上的internet浏览器查看系统。这两个网络现在已经连接起来,能够同时监测近1500个泵。英飞凌鼓励其供应商通过网络(通过安全的互联网连接)远程监控其设备。因此,BOC Edwards现在正在使用该工具远程监控其在德累斯顿的两个工厂的泵和排气管理系统。

“这种联网能力意味着我们在世界各地的设备专家可以采取更积极主动的方法来管理设备。而且,他们现在能够识别和解决历史上需要现场支持的问题,”业务发展总监流程使能技术Brian Emslie说。“这是BOC Edwards为真空和消减设备安装的第一个远程电子诊断装置,我们对为客户提供的成本节约和服务改进以及正常运行时间的提高感到兴奋。”

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