超纯水的仪器和控制市场今年将超过4.68亿美元

这是McIlvaine公司出版的《超纯水世界市场》的结论。

由于需要整合许多净化过程，超纯水的控制要求很高。将污染降低到非常低的水平对仪器供应商提出了挑战。

在半导体行业，超纯水采用以下途径:

• 预处理
• 化妆
• 抛光
• 分销系统
• 复苏
• 再利用和回收

重用和回收的步骤是在过去十年中发展起来的，这增加了控制的复杂性。例如，仅考虑铜CMP废水的处理。Ovivo是交钥匙解决方案供应商之一。他们的工艺是在铜废料中加入催化剂，利用其中的氧化剂形成强氧化剂。强氧化剂分解络合铜，降低废水的有机浓度。然后，铜可以以氢氧化铜的形式析出，并随浆料颗粒一起除去。Ovivo先进的氧化工艺有:

• 最低化学品消耗
• 达到严格的废水排放要求
• 不仅能还原铜，还能还原有机物

预防性维护要求通常包含在自动化系统中。反渗透系统容易维护。过滤器需要定期清洗或更换。差动测量可用于确定过滤器需要清洗或更换的位置。通常，在这些应用中使用压力开关;然而，系统中的振动和压力波动可能会引起问题。

一家半导体工厂改用横河EJA变送器，该变送器产生了始终如一的精确输出，从而提高了工艺效率，减少了维护停机时间。

随着超超临界设计的出现，高压和高温以及对水纯度要求的提高，燃煤电厂的超纯水控制和仪表要求变得更具挑战性。

图片:超纯水的仪器和控制(数千美元)(图片来源:McIlvaine)