新型电动控制阀
23.07.2020
半导体行业对阀门、测量和控制系统提出了严格的要求。气动阀门越来越不能满足主要工艺设备制造商的控制要求。为此，阀门专家GEMÜ开发了电动GEMÜ C53 iComLine控制阀。
GEMÜ C53 iComLine电动隔膜截止阀用于超纯工艺。(图片来源:GEMÜ Gebr。Müller KG机械设备有限公司
2/2通隔膜截止阀GEMÜ C53 iComLine是为半导体生产中精确和苛刻的控制应用而开发的。阀门的密封理念基于久经考验的GEMÜ PD设计，执行器和介质由耐聚四氟乙烯制成的调节锥分开。由于调节锥轮廓，执行器行程和连接尺寸可以定制，以满足客户的要求，GEMÜ C53 iComLine几乎满足高科技半导体行业的所有控制和流量要求。由于精密步进电机与超纯体材料的结合，该阀特别适用于光刻，CMP和蚀刻工艺，以及应用于任何半导体生产工艺的分析领域。
GEMÜ C53 iComLine隔膜截止阀不能仅作为简单的2/2通阀安装。它还可以集成到GEMÜ PC50 iComLine M-block中，以便使用最小的空间实现复杂的流程图。例如，在加工硅片时，可以在FOUP清洗器中使用一个多端口阀块来控制DI水的温度。此外，止回阀和传感器可以集成到GEMÜ PCi50 iComLine M-block中。
