Pfeiffer真空介绍了用于离子注入应用HiPace 2800 IT的新型涡轮泵
23.11.2020
随着HiPace 2800 IT Pfeiffer真空提出了一个特别专用于离子注入应用的涡轮泵。
Pfeiffer真空涡轮泵HiPace 2800 IT。(图片来源:Pfeiffer Vacuum)
涡轮泵的复杂转子设计，使轻气体的泵送速度得到优化。这确保了非常好的工艺适应离子注入过程，氢气是最积累的气体。具有2600升/秒的泵氢速度，新HiPace 2800 IT是其级别中最好的涡轮泵。
智能温度管理系统防止过程凝结和沉积在泵系统内。它允许单独设置温度，以理想地支持过程。转子的特殊涂层确保了对所有离子注入过程材料的鲁棒性。HiPace涡轮泵基于所谓的混合轴承，即前真空侧的陶瓷球轴承和高真空侧的永磁径向轴承的组合，这些HiPace涡轮泵具有特别坚固的轴承设计。加上高效的涂层，这构成了泵的长寿命周期和最大运行时间的基础。
来源:普发真空有限公司
