中银爱德华兹iGX干泵平台树立新标准
31.08.2004
作为真空系统和服务供应商的领导者，BOC Edwards宣布推出其新的iGX平台，以满足半导体工艺对多功能、低成本、高可靠性、高性能干泵的需求。
iGX平台设定了卓越的新标准，为用户提供了广泛的变体和峰值速度，以解决从清洁到中等负荷过程的应用。介绍遵循广泛的测试，最终用户试验和几个工具制造商的资格认证。其模块化设计和紧凑的占地面积允许广泛的配置，以满足客户的需求。
在iGX支持的过程中，用户将受益于较长的检修间隔，以及提高效率以降低拥有成本。通常情况下，客户可以期望每年节省40%的公用事业成本。
iGX专为300mm应用的严格要求而设计，也将在200mm晶圆厂中证明成本效益。此外，中银爱德华兹的主动效用控制功能可以显著减少闲置期间的效用消耗。iGX系列还提供以太网连接和关键数据的网页发布，以及一套全面的其他网络选项，因此可以保证泵的可用性。
来源:爱德华兹真空
