全新GEMÜ CleanStar高纯度隔膜阀正在制定标准
08.06.2022
多年来，世界各地的半导体行业已经成功地使用了GEMÜ CleanStar系列隔膜阀。GEMÜ客户欣赏设计的优点和多种可能的应用，由于执行器尺寸1到3的复杂分级。现在，该阀门专家正在扩大其GEMÜ CleanStar系列的执行器尺寸为4，从而制定了占地面积和流量方面的标准。
GEMÜ C60 CleanStar，气动操作和GEMÜ C67 CleanStar，手动操作，驱动器尺寸4。(图片来源:GEMÜ Gebr。Müller Apparatebau GmbH & Co):
半导体行业对阀门设计的要求不断增长。微芯片上的结构越来越小，需要最大纯度的无颗粒液体。由于晶圆直径越来越大，工艺介质所需的数量在过去几年里同时增加。GEMÜ在推出新的驱动器尺寸时考虑到了这两个发展。新驱动器尺寸4有1½”和2”两种规格，介质湿润部件由PFA和PTFE TFMTM制成。这种组合允许大量介质的运输和超纯阀设计，甚至可以用于半导体生产的供应和分配水平。紧凑的GEMÜ CleanStar设计同时确保优秀的流量/占地比，并将取代GEMÜ 600 HP和GEMÜ 677 HP/HPW隔膜阀在未来。
GEMÜ CleanStar:经过试验和测试的设计征服了新的应用
GEMÜ CleanStar系列的优点有很多。中央连接螺母在执行机构和阀体之间建立了可靠的连接，完全不使用金属部件。堰的设计(堰式)确保低应力介质通道，最大限度地减少死腿，不指定流动方向。由于使用了PVDF，外部部件显示出非常好的耐化学性。用于阀门灵活安装的检漏孔和开槽孔已经集成到阀体设计中。该系列也有一个位置指示器作为标准。所有这些优点都被采用在新的驱动器尺寸4的刻度上。多亏了更大的名义尺寸，GEMÜ已经在半导体生产的供应和分销层面(工厂和子工厂)为其客户利用了所有命名的产品优势。
