新型磁悬浮涡轮泵

通过先进的转子设计，Pfeiffer真空能够提供一个紧凑、安全、可靠的包装，具有高抽速(2100 l/s的N2)，高压缩轻气体(10e4的H2)和高重气体吞吐量(2500 sccm Ar)的泵。

安全可靠的

HiMagTM泵坚固耐用的设计提供了高度的安全性和可靠性。先进的转子设计创造了一个非常低的惯性矩，导致低的力量，随后在高安全系数。通过传感器系统对转子的持续监测，支持泵在所有操作条件下的稳定运行。通过先进的磁悬浮系统，振动和噪音水平降低到最低限度。HiMagTM泵符合Semi - S-2(安全)和F-47(电源故障)。

适用于所有真空工艺应用

HiMag不包含一个阻力阶段，所以它适用于高颗粒负荷，高气体负荷和腐蚀性气体的过程中。尽管没有阻力级，但HiMagTM泵具有较高的前驱容差(N2为3mbar)，因此可以使用较小的回注泵。

轴承设计产生非常低的外部磁场，可能会干扰敏感设备。同时，特殊的不锈钢外壳允许泵在高达10 mT的磁场中操作。这有助于在离子注入器、电子束系统和其他系统中使用该泵，在高磁场发生时，无需使用笨重的外部屏蔽。