普发推出新型罗茨真空泵

20.04.2015

该泵可用于负载锁应用领域,真空金属加工,PVD涂层和泵站。

普发推出新型罗茨真空泵

Pfeiffer真空Okta 600罗茨真空泵(图片来源:Pfeiffer Vacuum GmbH)

新的Okta 300, 600和800罗茨真空泵补充现有的普发真空OktaLine系列。在尺寸相同的情况下,根据电机的不同,它们提供300、600和800 m³/h的名义泵速。通过使用变频器,泵送速度提高,同时保持相同的占地面积。OktaLine系列真空泵是理想的应用在化学和工艺工程,在工业应用,在半导体工业,在研究和开发。典型的应用有负载锁应用,PVD涂层,真空金属加工和泵站。在没有溢流阀的情况下运行,这些泵更加可靠,在苛刻的应用中更不容易出现计划外停机,例如在有粉尘的情况下,在容易发生聚合和材料沉积的过程中,以及在短时间内的疏散。泵也可以被激活

直接与工艺接触的部件由球墨铸铁制成。与传统灰铸铁相比,这种材料具有更好的操作可靠性和更好的耐腐蚀性。

各种各样的附件可用于提高过程可靠性和监控目的。热电偶用于监测气体温度,同时传感器系统监测工作流体的填充水平和温度,并使用喷涂夹具去除或防止沉积形成。

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